Kontaktlose Messung von Oberflächeneigenschaften

Für die kontaktlose Messung von Oberflächeneigenschaften steht ein Weißlichtinterferometer der Firma 3d-Shape zur Verfügung. Dabei kann ein Messfeld von 1,6 x 2 mm bis 16 x 20 mm gemessen mit einer Auflösung von 1,5 µm bis 15 µm vermessen werden. Dabei ist der longitudinale Messbereich 100 mm mit einer Messunsicherheit von typischerweise 1 µm (Bei optisch glatten Oberflächen bis zu 20 nm).